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半導体関連の搬送装置、検査装置を
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マクロ・ミクロ検査装置

マクロ検査（目視検査）ユニットとミクロ検査（顕微鏡検査）ユニットの2種類の検査ユニットで構成される装置です。
上のレビュー装置にマクロ検査ユニットが追加された装置になります。マクロ検査では、目視によるウェハの表裏面の観察ができます。あらかじめ登録した角度の他に、ジョイスティックによるマニュアル操作も可能です。また、ウェハを無限回転させることで、あらゆる角度からの目視検査が可能です。