ウェハをレビューユニット（顕微鏡＋電動ステージ）にロード／アンロードし、あらかじめ登録されたウェハ座標をレビューする装置です。
カセットからウェハをレビューユニットにロードし、接眼レンズによるレビュー（カメラ付きの場合はモニター画面によるレビュー）が可能です。レシピ登録により、電動ステージが登録された座標に自動で移動します。ジョイスティックによるマニュアル移動も可能です。また、全数検査の他に指定スロット検査なども可能です。合否判定結果を画面に表示できるほか、ＣＳＶで出力するができます。