特殊ウェハや複数サイズに対応
破損しない
操作が容易
高いコストパフォーマンス
操作が容易
高いコストパフォーマンス
パワーデバイスやMEMS 等で使われるデバイスは特殊なものが多いです。弊社では、これら三つのポイントを念頭に搬送ロボット、アライナー、反転ユニット、マクロユニット、電動XY ステージ、自動検査ユニットなどの装置を構成する基礎的なユニット群を開発しました。そして、これらのユニットを組み合わせる事で、数多くの企業様に弊社の装置を導入いただいた実績があります。
アテルは、これらの「特殊ウェハを確実に搬送する事こそ使命」と考え「割らない」のは当たり前。
「ウェハ周辺だけハンドリング」といった特殊なご要望も実現した各種ユニットを開発してきました。
納品まではもちろん、納品後も誠心誠意、お客様の要望に真摯に向き合ってきました。
だからアテルは、扱いが難しい、特殊ウェハ：TAIKO®ウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハ…に自信を持って「対応できると」断言します。
※『TAIKO』は、株式会社ディスコの日本国およびその他の国における登録商標です。
納品まではもちろん、納品後も誠心誠意、お客様の要望に真摯に向き合ってきました。
だからアテルは、扱いが難しい、特殊ウェハ：TAIKO®ウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハ…に自信を持って「対応できると」断言します。
※『TAIKO』は、株式会社ディスコの日本国およびその他の国における登録商標です。
検査の自動化
人の目から機械の目へ
アテルは、今まで人の目を使って検査していた、マクロ検査装置や顕微鏡観察の自動化に長年取り組んできました。
その為、不良・異常の種類によっては、今すぐにでも対応可能です。
バックグラインドのウェハ裏面のクラックやアルミグレイン上の針痕やキズなど、検出が難しい不良も検出可能です。
その為、不良・異常の種類によっては、今すぐにでも対応可能です。
バックグラインドのウェハ裏面のクラックやアルミグレイン上の針痕やキズなど、検出が難しい不良も検出可能です。