カセットからカセットにウェハを移し替える装置です。

レシピ登録により複数のパターンの移載が可能です。

12インチに対応しています。

カセットに収納されたウェハを顕微鏡にロード／アンロードする装置です。
オペレーターの指示により、カセットからウェハを顕微鏡にロードし、ステージを指定位置に移動させることでアンロードします。新規導入の他に、既存の顕微鏡に後付することもできます。
（種類によってはできないことがあります）

ウェハ測定装置にウェハをロード／アンロードする装置です。
他社製の測長機や膜厚測定機などと連携します。
新規導入の他に、既存の装置へ後付することもできます。
（種類によってはできないことがあります）

画像は12インチ対応の装置となります。

12インチに対応したマクロミクロ装置になります。
オープンキャリアの他にFOUP・FOSBなどのキャリアにも対応します。
FOUPロードポートを搭載することでOHTなどの自動運用にも対応できます。