製品紹介 PRODUCTS

製品紹介

移載機

移載機

カセットからカセットにウェハを移し替える装置です。
異なる2つのサイズに対応できます。レシピ登録により複数のパターンの移載が可能です。

ソーター

移載機にソーティング機能を追加した装置です。
カメラでウェハIDを読み取り、その内容により複数のカセットへの振り分け移載やスロット入替えが可能です。


ウェハローダー

顕微鏡ローダー

カセットに収納されたウェハを顕微鏡にロード/アンロードする装置です。
オペレーターの指示により、カセットからウェハを顕微鏡にロードし、ステージを指定位置に移動させることでアンロードしま
す。新規導入の他に、既存の顕微鏡に後付することもできます(種類によってはできないことがあります)

各種測定機ローダー

ウェハ測定装置にウェハをロード/アンロードする装置です。
他社製の測長機や膜厚測定機などと連携します。
新規導入の他に、既存の装置へ後付するもともできます(種類によってはできないことがあります)


ウェハ外観検査機

レビュー装置

ウェハをレビューユニット(顕微鏡+電動ステージ)にロード/アンロードし、あらかじめ登録されたウェハ座標をレビューす
る装置です。
カセットからウェハをレビューユニットにロードし、接眼レンズによるレビュー(カメラ付きの場合はモニター画面によるレビ
ュー)が可能です。レシピ登録により、電動ステージが登録された座標に自動で移動します。ジョイスティックによるマニュア
ル移動も可能です。また、全数検査の他に指定スロット検査なども可能です。合否判定結果を画面に表示できるほか、CSVで
出力するができます。

マクロ・ミクロ検査装置

マクロ検査(目視検査)ユニットとミクロ検査(顕微鏡検査)ユニットの2種類の検査ユニットで構成される装置です。
上のレビュー装置にマクロ検査ユニットが追加された装置になります。マクロ検査では、目視によるウェハの表裏面の観察ができます。あらかじめ登録した角度の他に、ジョイスティックによるマニュアル操作も可能です。また、ウェハを無限回転させる
ことで、あらゆる角度からの目視検査が可能です。

自動欠陥検査装置

特殊な光学装置と画像処理により、自動的に欠陥を検出する装置です。
ウェハ表裏面の異物、キズ、クラックや外周のチッピングを自動的に検出します。その他に、ウェハ表面検査では、パターン異常、インクやレーザーによるマーキング異常、裏面検査では、研磨時に発生する十字クラックやメッキはげなどを検出します。

自動外観レビュー装置

他の検査システムの欠陥データと連携し、指定の座標の画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。
他の検査システムから抽出された欠陥データを受信し、指定座標のウェハ外観を、高倍率・高解像度にて自動撮像します。画像は受信した欠陥データと紐づけし、上位システムへ返信します。

特殊ウェハへの対応

弊社では、以下のような特殊なウェハへの対応実績がございます。

  • ・反り形状のウェハ
    ロール状、お椀状に反ったウェハ。最大13mmの反りウェハ(ロール状)。
  • ・研磨ウェハ
    最薄150umシリコンウェハ。中央部が最薄35umのTAIKOウェハ。
  • ・透明/半透明ウェハ
    石英ガラス素材のウェハ。Sic素材のウェハ。透明素材にパターン付けされたチェック柄模様のウェハ。
  • ・接触可能範囲の限られたウェハ
    ウェハ外周より3mmまでしか接触が許されないウェハ。

※仕様により、対応できないウェハがございますので、可否についてはご相談いただくか、サンプルウェハをご提供ください。

複数サイズへの対応

弊社では、以下のようなウェハサイズの組合せの実績がございます。

  • 2-3-4インチ、3-4-6インチ、4-6-8インチ、4-6インチ、5-6インチ、6-8インチ、
    8-12インチ

※装置種類やウェハ保持方式によって対応できない組合せがあります。可否についてはご相談いただくか、サンプルウェハをご提供ください。

ウェハ搬送方式と自動検査装置

弊社は長年、半導体クリーン搬送ロボットの開発を行ってきました。
その中には、裏面中央部真空吸着式の他に、裏面外周部真空吸着式、エッジグリップ式、ベルヌーイ、裏面吸着+表裏
反転、エッジグリップ+表裏反転、など様々な搬送方式を実現させてきました。
この搬送技術とウェハ外観検査技術を融合させ、今日における様々な特殊ウェハに対応した自動検査装置の実現に取り組んでおります。

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